| 洁净度等级ISO等级 | 气流流型 | 平均风速（m/s） | 单位面积送风量（m3/m2.h） | 应用实例 |
| 2 | 单向流流型 | 0.3-0.5 | / | 光刻，半导体工艺区 |
| 3 | 单向流流型 | 0.3-0.5 | / | 工作区，半导体工艺区 |
| 4 | 单向流流型 | 0.3-0.5 | / |
工作区，多层掩膜工艺、密盘制造半导体服务区、动力区 |
| 5 | 单向流流型 | 0.2-0.5 | / | |
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6 |
非单向流流型 | 0.1-0.3 | / |
动力区、多层工艺、半导体服务区 |
| 单向流流型或非单向 | / | 70-160 | ||
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7 |
非单向流流型 | / | 30-70 |
服务区 |
| 单向流流型或非单向 | / | |||
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8 |
非单向流流型 | / | 10-20 |
表面处理 |
| 单向流流型或非单向 | / |
图一 微电子洁净室实例-人员净化程序
