半导体组件空间单位都是以微米计算，因此微尘颗粒沾附在制作半导体组件的晶圆上，便有可能影响到其上精密导线布局的样式，造成短路或断路的严重后果。所有半导体制程设备都必须安置在隔jue粉尘进入的密闭空间中，这就是半导体无尘车间的来由。
以下半导体洁净无尘车间的相关的技术和使用管理办法：
1.半导体洁净无尘车间内部要确保粉尘只出不进，因此洁净无尘车间室内要保持大于大气压的环境。这就需要用大型鼓风机将经净化设备的空气源源不jue地打入洁净车间中。
2.为保持恒温与恒湿，大型空调设备须搭配前述之鼓风加压系统使用。鼓风机加压多久，空调就得开多久。
3.所有经净化设备的空气流动方向均由上往下为主，因此，洁净无尘车间室内空间设计或机台摆放应避免突兀，使尘埃细菌等在洁净无尘车间内回旋停滞的机会与时间减****低程度。
4.所有建材均以不易产生静电吸附的材质为主。
5.所有人或事物进出洁净无尘车间，人必须穿配套防尘服，人或事物都要经过
风淋室吹淋以将表面粉尘先行除掉。
6.半导体洁净无尘车间内水的使用只限用去离子水。一则防止水中粉粒污染晶圆，二则防止水中重金属离子（如钾、钠离子）污染金氧半晶体管结构之带电载子信道，影响半导体组件的工作特性。去离子水是**佳的溶剂与清洁剂，在半导体工业之使用量极为惊人！
7.半导体洁净无尘车间所有用得到的气源，包括吹干晶圆及机台空压所需要的，都得使用氮气 (98%)，吹干晶圆的氮气甚**要求99.8%以上的高纯氮。
