进入洁净室的材料、设备以及机器

一、洁净室用材的选择 
1.必须仔细选择洁净室的各种用材,确保它们不会对室内造成污染。洁净室内经常使用的材料与设备举例如下: 
1) 生产中使用的材料:在微电子工业中使用的硅晶片; 
2) 产品包装材料:如玻璃瓶、塑料瓶、塑料袋、预制的盒子等; 3) 工艺设备和机器; 
4) 对设备和机器进行维修、校准、修理的工具以及转动设备的润滑剂等; 5) 人员服装,如洁净工作服、手套、指套、口罩、头罩等; 6) 洁净室清洁用品,如抹布与拖把; 
7) 消耗性用品,如书写纸张、圆珠笔、标签、棉签。 
在大多数洁净室中粒子和纤维都是环境污染的主要来源。所以,应避免在生产工艺中使用容易破损或散发粒子的材料。其表面带有粒子和纤维的材料也应避免使用。 
在半导体工业中,产品表面的化学品和空气环境中的某些气体分子可能形成的化合 物,会沉积在半导体的表面上,它们可能影响产品质量,甚至损坏半导体芯片。 
在一些洁净室中,那些无法将静电不断地传导开的材料,可能会因为静电荷的积累和放电使那些对静电敏感产品会受到损坏。此外,静电还会使材料产生静电吸附效应而吸附粒子,造成污染问题。 
选择用于洁净室内的生产材料,不仅仅要着眼于适合于生产工艺,而且也应关注是否有可能产生污染。显然对那些既可能构成污染,但又是生产所需的材料和物品,只有在缺之不可的情况下才能使用,或只有在已经充分认识到了这些材料产生污染的问题,并考虑了其他替代材料但又确实都不适合后,才可使用。 
2.以下所列举的部分乃至全部物品,因其会造成洁净室的严重污染,根据产品对污染的敏感性不同,一般禁止在洁净室中使用。 
1) 非洁净室专用纸,如果一定要使用普通纸,应将其放入塑料袋内或采用双面热塑; 2) 铅笔与橡皮、墨水中含有污染洁净室环境的化学品、纤维头书写笔或者会划纸的圆珠笔、修改液; 
3) 用低碳钢或其他会生锈、磨蚀、氧化的材料制成的物品; 4) 用机器加工或处理时会冒烟或破损的物品; 
5) 用木头、橡胶、纸张、皮革、毛、棉及其他天然材料制成的易破损物品; 6) 研磨材料或粉末、产生气溶胶的瓶瓶罐罐;7) 不适合于在洁净室中使用的一次性物品,如棉签、胶带、标签; 
8) 洁净室人员不得将第8章8. 12节中开列出的个人物品带入洁净室内。 
二、外部供应的物品及其包装 
如果物品的供应商对洁净室要求知之甚少,或根本不予关心,那么它所供应的物品在进人洁净室时可能已受到了严重污染。在某些情况下,这可能是造成污染的一个重要原因。因此,为解决这类问题应采取一些措施。 
1. 外供物品宜在洁净环境中产生 
供应洁净室的物品要求在洁净环境中生产,其洁净度标准宜与产品所供应的洁净室相 同。如果外部供应物品交付时不能达到适当的清洁水准,则必须在洁净室中对其加以清 洁,但这样做的效果可能差些。有越来越多的公司在洁净环境中制造供应洁净室生产所需 的零部件,洁净室管理人员应该向本企业采购部门强调,要关注洁净室物品供应商的生产 环境。应尽量选择质优价廉,又是在相应洁净环境中生产的洁净室用品,以保证本企业洁 净室的洁净度和减少清洁外供物品的耗费。 
参观考察供应商的生产设施并检查其生产环境是很必要的。外供物品生产厂家可能并 不熟悉洁净室技术。所以,对他们的生产工艺的一些简单建议和改进,就可能产生不错的效果。即使制造厂家不具备洁净生产环境,但只要有较高水平的洁净管理条件,使用洁净室用的手套、抹布、不起毛的服装等,也可大大提高产品的质量。 
2. 外供物品的包装材料 
应注意产品的存储和包装。如果加工的产品从生产设备上取下后立即用合适的洁净包 装方式包装好,则周围较差的生产环境对产品的影响就可以降至最小。 
外供物品的包装方法和包装材料必须考虑所供应的洁净室的洁净度等级,包装的尺 度、外形均应符合贮藏、运输、开箱过程中防污染的要求,对包装材料的主要要求有以下 几点•. 
1) 包装材料的无污染性:要求包装材料本身不产生粒子、纤维、污染气体及蒸汽等, 不明显地带静电,不与包装品产生化学反应; 
2) 包装材料必须使用能够清洁到包装物品所要求的洁净度的材料; 
3) 材料的强度及耐久性:包装材料应承受温湿度、外部作用力和紫外线等影响,能够保证所要求的密封性,避免运输、存放过程中破损而污染,以致将污染带入洁净室中。 
洁净室外供用品的良好包装,不仅可以避免产品在运输途中的损坏,也可以最大限度地避免产品受到外部环境的污染。常使用的塑料材料为塑料薄膜或预制的包装塑料。塑料材料与其他许多材料相比,粒子、纤维、化学污染较少。塑料污染的大小取决于所使用的塑料种类、制造方法以及包装 方式。所以,对所用塑料包装是否适宜也要进行检验。有些塑料会产生静电,从而可能损坏产品。如果使用防静电塑料,它对粒子及纤维的 吸附作用也较小,因此也更洁净。如果需要控制分子污染的话,则有些塑料包装材料(如 PVC包装材料),可能就不适用了。 
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