洁净厂房集中新风处理系统(2)

 

OAC风机频率受集管静压的控制,OAC集管静压点一共有五处,分别为东南、西南、东北、西北、N/S 4F。系统暂时启用了东南(代表了东侧静压)、西侧平均值(代表了西侧静压),N/S4F三个静压控制点,东南静压控制点控制东侧OAC 8#~14#的风机频率,西南静压控制点控制OAC 1#~6#的风机频率,N/S 4F静压控制点控制OAC 7#风机频率,每个控制点平均分配风机频率,每台受控制的OAC风机运行频率保持一致,集管静压设定值在控制画面中可以调整,系统会根据静压设定值调整对应OAC风机的频率。注:风机最低频率设为20Hz。

 

洁净室正压梯度如上图,1个+代表最低的正压度,设定为对正压基准点(0位/外界)有5Pa的正压,2个+则表示对1个+的区域设定有5Pa的正压,3个+的区域则是对2个+的区域设定有5Pa的正压。为保证洁净室内的洁净度,洁净室不允许有外界的脏空气进入,因此正压度越高的区域,洁净度也越高,对应区域的新风阀开度会比较大。正压基准点探头现设在FAB 5F东侧机房内,OAC 9#送风管旁边,注:各区域隔断门打开也会短时间影响洁净室内的压差,所以开门的时间不宜过长。  

OAC送风通过集管经由各个区域的新风阀送至FAB内,新风阀的开度是根据各个区域设定的正压度调整的,室内压差控制反馈与设定值如有差异,会调整对应区域新风阀的开度,4F 主FAB新风阀共有43个。注:新风阀的动作会影响到室内温湿度波动,风量增大会改变原有的PID曲线。新风阀的动作会影响到对应区域OAC集管静压值。比如区域正压不够,对应区域新风阀开度增大,集管送风量增大,因增加了泄压口,集管静压会降低,此时静压控制点提高对应OAC风机频率,直至该侧集管静压达到设定值。反之,OAC集管静压的波动又会影响末端区域正压度,一旦正压度超过/低于设定值,会控制对应区域新风阀动作,集管静压和室内压差的波动,长时间波动会带来送风温度和送风湿度的波动,所以应尽量避免长时间地开启各区域隔断门(FAB 2F/3F/4F),做好各区域的围封。注:OAC风机频率的升降会导致OAC送风温湿度的少量波动,风量增大/减小,热负荷会有增/减。 

另外,气流走向对温湿度的影响也是比较明显的,由于室内正压梯度的存在,以及各区域AMHS小车通行必须常开的空洞,导致洁净室内正压高的区域气流会压向正压较低的区域,此时,正压低的区域温湿度会直接受邻近区域干盘管阀门开度的影响,加上各区域机台产生的热量不均匀,更容易造成局部温度失控或者控制错位的现象。 D/C系统 

先前说到OAC新风是与FAB内回风混合后进入FAB内,末端温度由干盘管进行精控,这里介绍一下干盘管系统的组成和控制原理,干盘管又称为D/C:DRY COOLING COIL(干式冷盘管),主FAB内的干盘管分布于FAB 4F东西两侧的马道,S/S 3F的干盘管分布于S/S 3F吊顶上方,CMP的干盘管分布于CMP吊顶上方,其他还有二次更衣室回风夹道内的4组干盘管,化学实验室内1组干盘管。 FAB 4F东侧干盘管→ FAB 3F东侧区域温度 FAB 4F西侧干盘管→ FAB 3F西侧区域温度 CMP吊顶上干盘管→ CMP区域温度 

S/S 3F吊顶上干盘管→ S/S 3F区域温度 二更干盘管→ 二更区域温度 

S/S 1F干盘管 →S/S 1F化学实验室温度 

干盘管系统包括: 

现场盘管 BP送水泵 附属仪表阀门  

BP泵每组有两台,一用一备,配有变频器,根据压力变频运行,满载为50Hz。  

D/C系统共有4组自控阀: BP泵冷水送水主管控制阀 BP泵干盘管回水混水阀 BP泵压力旁通阀 

D/C温度控制阀  

BP泵送水温度控制冷水送水主管控制阀的开度,冷水送水主管控制阀与回水混水阀是联动的,互相补偿为100%,若送水温度高于设定值,冷水送水主管控制阀开度增加,更多5℃的冷水并入系统,而此时混水阀开度会对应减小,回水更多的往冷水回水管道走,减小官网中较热的回水并入循环。 压力旁通阀和BP泵的频率同时受到压力控制点的控制,如送水压力高/低于设定值,控制输出也会变化,比如送水压力高于设定值,自动控制首先会降低频率,直到频率降到5Hz,压力旁通阀会慢慢打开,直到压力与设定值一致,压力控制点输出规则为:OP=0~50%对应BP泵频率50Hz~5Hz(旁通阀全关),OP=50%~100%对应旁通阀开度0~100%(此时阶段BP泵频率仍为5Hz运行,为了安全考虑,旁通阀已经强制欲开了10%,所以自始至终旁通阀开度的变化为10%~100%) 干盘管温度控制阀直接受室内温湿度探头反馈值的影响,室内温度反馈如果高于设定值。干盘管温度控制阀开度增大,干盘管中冷水量变大,将洁净室更多的热量带入BP泵的循环中,BP泵送水温度上升,冷水主管控制阀开度增大,此时管网中的水量增大,导致压力过高,BP泵频率会相应降低一些,但是BP泵主管控制阀开度增大后,BP泵送水温度下降,此时洁净室温度还未恢复,所以D/C温度控制阀还未关小,瞬间系统会有大量的冷量直接投放到干盘管与洁净室循环风接触,导致区域温度下降过快,此时系统会关小D/C温度控制阀,回到BP回水的热量少了,BP泵送水温度下降,冷水主管控制阀开度减小,一次波动结束,通过PID的调整,系统会趋于稳定。 

注:若PID时常需要手动干预,可以将BP泵冷水主管控制阀或者D/C温度控制阀中的一个手动控制,另一个保持自动控制,直到系统稳定。 

客服电话
  • 15157564050
  • 15157563004