洁净室(无尘车间)及相关受控环境—按粒子浓度划分表面洁净度等级
更新：2016-07-17来源：苏州净化设备有限公司
洁净室(无尘车间)及相关受控环境—按粒子浓度划分表面洁净度等级
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SCP等级
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粒径
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0.005 µm
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0.1 µm
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0.05 µm
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5
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0.001 µm
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10µm
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50 µm
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100 µm
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500µm
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Scp1级
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(200)
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100
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20
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(10)
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Scp2级
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(2000)
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1000
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200
|
100
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(20)
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(10)
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Scp3级
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(20000)
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10000
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2000
|
1000
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(200)
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(100)
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Scp4级
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(200000)
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100000
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20000
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10000
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2000
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1000
|
(200)
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(100)
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Scp5级
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1000000
|
200000
|
100000
|
20000
|
10000
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2000
|
1000
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(200)
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Scp6级
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(10000000)
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2000000
|
1000000
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200000
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100000
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20000
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10000
|
2000
|
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Scp7级
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10000000
|
2000000
|
1000000
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200000
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10000
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20000
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Scp8级
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100000000
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2000000
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1000000
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200000
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表中的值是每1平方米的表面积上等于或大于关注数粒径的离子浓度及SCP等级,括号内的数字,其对应的粒径不应用于分级;选择七大粒径进行分级.
对较低SCP级别的分级,要有大量的测量结果以确立有效值.
洁净室及相关受控环境——按纳米粒子浓度划分空气洁净度等级
按悬浮粒子浓度划分空气洁净度等级扩展到纳米尺度分级表
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ISO 14644-12 粒径范围（NPC）
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ISO 14644-1 粒径范围（APC）
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0.001 µm
（1 nm）
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0.005 µm
（5 nm）
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0.01 µm
（10 nm）
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0.05 µm
（50 nm）
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0.1 µm
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0.2 µm
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0.3 µm
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0.5 µm
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1 µm
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5 µm
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1
|
145000 g
|
5080
|
1200
|
e
|
10e
|
e
|
e
|
e
|
e
|
f
|
|
2
|
1 450 000 g
|
50 800
|
12 000
|
423
|
100
|
24 c
|
10e
|
e
|
e
|
f
|
|
3
|
14 500 000 g
|
508 000
|
120 000 b
|
4230
|
1000
|
237
|
102 b
|
35 e
|
e
|
f
|
|
4
|
145 000 000 g
|
508 000
|
1 200 000
|
423 00
|
10 000
|
2370
|
1020
|
352
|
83 e
|
f
|
|
5
|
d
|
50 800 000
|
12 000 000
|
4 23000
|
100 000
|
23700
|
10200
|
35 20
|
8 32
|
f
|
|
6
|
d
|
d
|
d
|
4 230 000
|
1000 000
|
237000
|
102000
|
35 200
|
8 320
|
293
|
|
7
|
d
|
d
|
d
|
d
|
d
|
d
|
d
|
35 200 0
|
8 320 0
|
2930
|
|
8
|
d
|
d
|
d
|
d
|
d
|
d
|
d
|
35 200 00
|
8 320 00
|
29300
|
|
9
|
d
|
d
|
d
|
d
|
d
|
d
|
d
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35 200 000
|
8 320 000
|
293000
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注：a）纳米粒子浓度分级表必须与ISO 14644-1分级表配合使用。
b）ISO-NPC 3级120 000个粒子是包括所有粒径≥ 10 nm 粒子的累计浓度。ISO-APC 3级35个粒子是关注粒径（considerd）≥ 0.5 µm 时，空气中悬浮粒子的**大浓度限值（maximun concentration limit）。
c）分级采样量要大，见ISO 14644-1序贯采样法。
d）粒子浓度过高，限值不适用。
e）由于采样和统计的局部性，该低浓度不适合于分级。
f）由于在采样系统中可能的粒子损失，使得低浓度和> 1 µm的粒径不适合于分级。
g）颁布时该粒径计数超出当前仪器测量范围，本栏供未来使用。
同一个洁净度要求，洁净室处于不同的占有状态，其污染的程度不同：
(1)关注粒径（Considered Particle Size）： 0.1 µm；0.2 µm；0.3 µm；0.5 µm；1 µm；5 µm。 0.1 µm~ 0.2 µm 12英寸芯片厂受控环境关注的粒径。 0.2 µm~ 0.3 µm 为空气过滤器**宜穿透粒径 MPPS（Most penetrating particulate size）。0.5 µm~ 5 µm 与细菌的粒径相近（GMP-2010，洁净区悬浮粒子的关注粒径为：0.5 µm；5 µm）。
(2)G际上取得共识的“技术定义”是，ISO 5级——≥ 0.5 µm 的粒子**大浓度限值为3520个/m 3。空气中的悬浮粒子为分散系，具有随机性和不确定性；计量时引入统计学概率：95%置信上限（UCL, Upper confidence Limit）。
(3)G内一些G家规范关于洁净度的分级表述不确切，定为区间值： ISO 5级——≥ 0.5 µm的尘粒数为>350粒/m 3 到≤3500粒/m 3 。造成技术概念上的“混乱”。
(4)ISO 洁净度等级分为9个级别。ISO 1级（≥0.1 µm，10粒/m3）尚无工程应用；ISO 9级（≥0.5 µm，3520万粒/m 3 ）工程中很少应用，GMP-98版中曾使用30万级（≥0.5 µm，1050万粒/m 3 ）。ISO 5级（≥0.5 µm，粒子**大浓度限值3520粒/m 3）相当于美联邦标准FS 209百级（≥0.5 µm，粒子 **大浓度限值3530粒/m3，或100粒/ft3）。