超净工作台悬浮粒子数检测结果及评价记录表
更新：2012-09-03来源：苏州净化设备有限公司
|
HVAC系统编号 |
|
系统名称 |
空调净化系统 |
||||||||||||||||||
|
测试状态 |
|
洁净级别 |
100级 |
||||||||||||||||||
|
检 测 仪 器 |
CLJ-03A激光尘埃粒子计数器 |
||||||||||||||||||||
|
检 测 方 法 |
洁净区尘埃粒子监测规程 |
||||||||||||||||||||
|
名称 |
测点 编号 |
一次 |
二次 |
三次 |
四次 |
五次 |
平均 |
UCL |
|||||||||||||
|
0.5 |
5 |
0.5 |
5 |
0.5 |
5 |
0.5 |
5 |
0.5 |
5 |
0.5 |
5 |
0.5 |
5 |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
检测结果 计算评价
|
检测人员：___________ 年 月 日 |
||||||||||||||||||||
|
确
认 |
动力设备部
年 月 日 |
验证小组
年 月 日 |
|||||||||||||||||||