ISO 14644 根据悬浮粒子浓度这个**指标来划分洁净室（区）及相关受控环境中空气洁净度的等级，并且仅考虑粒径限值（低限）在0.1um～5.0um 范围内呈累积分布的粒子群。
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空气洁净度等级（N）
|
大于或等于所标粒径的粒子**大浓度限值（个/每立方米空气粒子）
|
|||||
|
0.1 um
|
0.2 um
|
0.3 um
|
0.5um
|
1um
|
5 um
|
|
|
ISO Class 1
|
10
|
2
|
|
|
|
|
|
ISO Class 2
|
100
|
24
|
10
|
4
|
||
|
ISO Class 3
|
1 000
|
237
|
102
|
35
|
8
|
|
|
ISO Class 4
|
10 000
|
2 370
|
1 020
|
352
|
83
|
|
|
ISO Class 5
|
100 000
|
23 700
|
10 200
|
3 520
|
832
|
29
|
|
ISO Class 6
|
1 000 000
|
237 000
|
102 000
|
35 200
|
8 320
|
293
|
|
ISO Class 7
|
|
352 000
|
83 200
|
2 930
|
||
|
ISO Class 8
|
|
3 520 000
|
832 000
|
29 300
|
||
|
ISO Class 9
|
|
35 200 000
|
8 320 000
|
293 000
|
||
|
注：由于涉及测量过程的不确定性，故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。
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||||||
空气洁净度分级标准： GB/T16292-1996 （中G标准）
|
粒径、数值洁净度级别
|
尘埃**大允许数/立方米
|
微生物**大允许数
|
||
|
≥0.5um
|
≥5um
|
浮游菌/立方米
|
沉降菌/皿
|
|
|
100 级
|
3,500
|
0
|
5
|
1
|
|
10,000 级
|
350,000
|
2,000
|
100
|
3
|
|
100,000 级
|
3,500,000
|
20,000
|
500
|
10
|
|
300,000 级
|
10,500,000
|
60,000
|
—
|
15
|
美G联邦标准 209D 洁净室分级：（已停用）
|
空气洁净度等级（N）
|
大于或等于所标粒径的粒子**大浓度限值（个/每立方米空气粒子）
|
||||
|
0.1 um
|
0.2 um
|
0.3 um
|
0.5um
|
5 um
|
|
|
1
|
35
|
7.5
|
3
|
1
|
|
|
10
|
350
|
75
|
30
|
10
|
|
|
100
|
|
750
|
300
|
100
|
|
|
1000
|
|
|
|
1000
|
7
|
|
10000
|
|
|
|
10000
|
70
|
|
100000
|
10000
|
700
|
|||
英G 5295 标准洁净室和空气净化装置分级：
|
空气洁净度等级（N）
|
大于或等于所标粒径的粒子**大浓度限值（个/每立方米空气粒子）
|
||||
|
0.3um
|
0.5um
|
5um
|
10um
|
25 um
|
|
|
C
|
100
|
35
|
0
|
|
|
|
D
|
1000
|
350
|
0
|
||
|
E
|
10000
|
3500
|
0
|
||
|
F
|
|
3500
|
0
|
||
|
G
|
100000
|
35000
|
200
|
0
|
|
|
H
|
|
35000
|
200
|
0
|
|
|
J
|
|
350000
|
2000
|
450
|
0
|
|
K
|
|
3500000
|
20000
|
4500
|
500
|
|
L
|
|
|
200000
|
45000
|
5000
|
|
M
|
|
450000
|
50000
|
||
各种G际标准的比较：
|
美G联邦
|
美G联邦
|
英G标准
|
澳大利亚标准
|
法G标准
|
德G标准
|
G际标准
|
日本标准
|
|
标准209D
|
标准209E
|
BS5295
|
AS1386
|
AFNORX44101
|
VDI2083
|
14644-1
|
JACA24
|
|
|
|
|
|
|
|
1
|
1
|
|
|
|
|
|
—
|
0
|
2
|
2
|
|
1
|
M1.5
|
C
|
0.035
|
—
|
1
|
3
|
3
|
|
10
|
M2.5
|
D
|
0.35
|
—
|
2
|
4
|
4
|
|
100
|
M3.5
|
E
|
3.5
|
4000
|
3
|
5
|
5
|
|
1000
|
M4.5
|
G
|
35
|
—
|
4
|
6
|
6
|
|
10000
|
M5.5
|
J
|
350
|
400000
|
5
|
7
|
7
|
|
100000
|
M6.5
|
K
|
3500
|
4000000
|
6
|
8
|
8
|
|
|
|
M
|
|
|
7
|
9
|
|
