洁净室(无尘车间)及相关受控环境—按粒子浓度划分表面洁净度等级

洁净室(无尘车间)及相关受控环境—按粒子浓度划分表面洁净度等级

表中的值是每1平方米的表面积上等于或大于关注数粒径的离子浓度及SCP等级,括号内的数字,其对应的粒径不应用于分级;选择七大粒径进行分级.

对较低SCP级别的分级,要有大量的测量结果以确立有效值.

 

洁净室及相关受控环境——按纳米粒子浓度划分空气洁净度等级

按悬浮粒子浓度划分空气洁净度等级扩展到纳米尺度分级表

    b）ISO-NPC 3级120 000个粒子是包括所有粒径≥ 10 nm 粒子的累计浓度。ISO-APC 3级35个粒子是关注粒径（considerd）≥ 0.5 µm 时，空气中悬浮粒子的**大浓度限值（maximun concentration limit）。  

c）分级采样量要大，见ISO 14644-1序贯采样法。

   d）粒子浓度过高，限值不适用。 

 e）由于采样和统计的局部性，该低浓度不适合于分级。

   f）由于在采样系统中可能的粒子损失，使得低浓度和> 1 µm的粒径不适合于分级。

   g）颁布时该粒径计数超出当前仪器测量范围，本栏供未来使用。

同一个洁净度要求，洁净室处于不同的占有状态，其污染的程度不同：

(1)关注粒径（Considered Particle Size）： 0.1 µm；0.2 µm；0.3 µm；0.5 µm；1 µm；5 µm。 0.1 µm~ 0.2 µm 12英寸芯片厂受控环境关注的粒径。 0.2 µm~ 0.3 µm 为空气过滤器**宜穿透粒径 MPPS（Most penetrating particulate size）。0.5 µm~ 5 µm 与细菌的粒径相近（GMP-2010，洁净区悬浮粒子的关注粒径为：0.5 µm；5 µm）。

 (2)G际上取得共识的“技术定义”是，ISO 5级——≥ 0.5 µm 的粒子**大浓度限值为3520个/m  3。空气中的悬浮粒子为分散系，具有随机性和不确定性；计量时引入统计学概率：95%置信上限（UCL, Upper confidence Limit）。 

(3)G内一些G家规范关于洁净度的分级表述不确切，定为区间值： ISO 5级——≥ 0.5 µm的尘粒数为>350粒/m  3 到≤3500粒/m  3 。造成技术概念上的“混乱”。 

(4)ISO 洁净度等级分为9个级别。ISO 1级（≥0.1 µm，10粒/m3）尚无工程应用；ISO 9级（≥0.5 µm，3520万粒/m  3 ）工程中很少应用，GMP-98版中曾使用30万级（≥0.5 µm，1050万粒/m  3 ）。ISO 5级（≥0.5 µm，粒子**大浓度限值3520粒/m  3）相当于美联邦标准FS 209百级（≥0.5 µm，粒子 **大浓度限值3530粒/m3，或100粒/ft3）。