洁净室(无尘室)正压控制规范

洁净室(无尘室)必须维持一定的正压。不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压差,应不小于0.5毫米水柱(5pa),洁净区与室外的静压差,不应小于1.0毫米水柱(10pa)。万级及十万级车间室内压差不小于0.2-0.3毫米水柱(2-3Pa); 
 
洁净室维持不同的正压值所需的正压风量,宜按下式计算:`Q=A·SUM(Q·L)` 
(5.2.2) 
式中Q——维持洁净室正压值所需的正压风量(米3/时); A——根据围护结构气密性确定的安全系数,可取1.1-1.2; Q——当洁净室为某一正压值时,其围护结构单位长度缝隙的渗漏风量(米3/时·米); 
L——围护结构的缝隙长度(米)。
 
围护结构单位长度缝隙的渗漏风量
同时,由于洁净室内人员流动比较频繁,各种加工生产操作,门窗的开合以及机器的老坏等,最后都会影响到洁净室内的正压。 
为保证洁净室室内始终保持一定的压差,须采取一定措施来维持室内正压。 
    我们可以从以下几个方面来维持洁净室内正压:   (1)在回风口装空气阻尼层;  
  (2)排风管装电动密闭阀中效过滤器;  
  (3)余压阀,一般设在洁净室下风侧墙壁,采取此种措施时要求室内 须有足够的剩余风量;    (4)调节回风阀或排风阀;    (5)调节新风阀;     (6)风机、风阀联锁控制;   (7)定期更换一些必要的过滤器 

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